Al+ implanted 4H-SiC: improved electrical activation and ohmic contacts / Nipoti, Roberta; A., Hallén; Parisini, Antonella; F., Moscatelli; Vantaggio, Salvatore. - 740-742:(2013), pp. 767-772. ((Intervento presentato al convegno ECSCRM2012 tenutosi a Saint Petersburg nel September 2-7, 2012 [10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.767].

Al+ implanted 4H-SiC: improved electrical activation and ohmic contacts

NIPOTI , ROBERTA;PARISINI, Antonella;VANTAGGIO, Salvatore
2013

Al+ implanted 4H-SiC: improved electrical activation and ohmic contacts / Nipoti, Roberta; A., Hallén; Parisini, Antonella; F., Moscatelli; Vantaggio, Salvatore. - 740-742:(2013), pp. 767-772. ((Intervento presentato al convegno ECSCRM2012 tenutosi a Saint Petersburg nel September 2-7, 2012 [10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.767].
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