Estimation of Activation and Compensation Ratios in Al+ Ion Implanted 4H-SiC: Comparison of Two Methodologies / Nipoti, Roberta; Boldrini, Virginia; Canino, Mariaconcetta; Tamarri, Fabrizio; Vantaggio, Salvatore; Parisini, Antonella. - 1062:(2022), pp. 241-245. (Intervento presentato al convegno European Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2021) [10.4028/p-n0f23q].
Estimation of Activation and Compensation Ratios in Al+ Ion Implanted 4H-SiC: Comparison of Two Methodologies
Vantaggio, Salvatore;Parisini, Antonella
2022-01-01
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