Al+ ion implanted on-axis <0001> semi-insulating 4H-SiC / Nipoti, R.; Parisini, Antonella; Carnera, A.; Albonetti, C.; Vantaggio, Salvatore; Grossner, U.. - 821-823:(2015), pp. 399-402. ((Intervento presentato al convegno ECSCRM2014 tenutosi a Grenoble (France) nel September 22-25, 2014 [10.4028/www.scientific.net/MSF.821-823.399].

Al+ ion implanted on-axis <0001> semi-insulating 4H-SiC

PARISINI, Antonella;VANTAGGIO, Salvatore;
2015-01-01

Al+ ion implanted on-axis <0001> semi-insulating 4H-SiC / Nipoti, R.; Parisini, Antonella; Carnera, A.; Albonetti, C.; Vantaggio, Salvatore; Grossner, U.. - 821-823:(2015), pp. 399-402. ((Intervento presentato al convegno ECSCRM2014 tenutosi a Grenoble (France) nel September 22-25, 2014 [10.4028/www.scientific.net/MSF.821-823.399].
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