Microwave Annealing of High Dose Al+ implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication / Nath, A; Rao Mulpuri, V; Tian, Y. L.; Parisini, Antonella; Nipoti, Roberta. - In: JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS. - ISSN 0361-5235. - 43:4(2014), pp. 843-849. [10.1007/s11664-013-2973-5]
Microwave Annealing of High Dose Al+ implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication
PARISINI, Antonella;NIPOTI , ROBERTA
2014-01-01
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