Evolution of the Substitutional Fraction on Post-Implantation Annealing in Al/4H-SiC Systems / Parisini, Antonella. - 359:(2024), pp. 13-20. (Intervento presentato al convegno ICSCRM 2023 - International Conference on Silicon Carbide and Related Materials tenutosi a Sorrento Italy nel 17/09/2023 - 22/09/2023) [10.4028/p-FcSm9i].

Evolution of the Substitutional Fraction on Post-Implantation Annealing in Al/4H-SiC Systems

Antonella Parisini
2024-01-01

2024
Evolution of the Substitutional Fraction on Post-Implantation Annealing in Al/4H-SiC Systems / Parisini, Antonella. - 359:(2024), pp. 13-20. (Intervento presentato al convegno ICSCRM 2023 - International Conference on Silicon Carbide and Related Materials tenutosi a Sorrento Italy nel 17/09/2023 - 22/09/2023) [10.4028/p-FcSm9i].
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