Measuring rotation in SEM images of integrated circuits / Chiorboli, Giovanni; G., Demaldè; Morandi, Carlo. - 1:(1991), pp. 324-331. (Intervento presentato al convegno 3rd European Conference on Electron and Optical Beam Testing of Integrated Circuits - EOBT'91 tenutosi a Villa Olmo, Como, Italy nel September 9-11. 1991).

Measuring rotation in SEM images of integrated circuits

CHIORBOLI, Giovanni;MORANDI, Carlo
1991-01-01

1991
Measuring rotation in SEM images of integrated circuits / Chiorboli, Giovanni; G., Demaldè; Morandi, Carlo. - 1:(1991), pp. 324-331. (Intervento presentato al convegno 3rd European Conference on Electron and Optical Beam Testing of Integrated Circuits - EOBT'91 tenutosi a Villa Olmo, Como, Italy nel September 9-11. 1991).
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