Ultrafine pattern forming method and ultrafine etching method using calixarene derivatives as negative resists / Y., Ohnishi; J. I., Fujita; Arduini, Arturo; Casnati, Alessandro; Pochini, Andrea; Ungaro, Rocco. - (1997).
Ultrafine pattern forming method and ultrafine etching method using calixarene derivatives as negative resists
ARDUINI, Arturo;CASNATI, Alessandro;POCHINI, Andrea;UNGARO, Rocco
1997-01-01
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