Ultrafine pattern forming method and ultrafine etching method using calixarene derivatives as negative resists / Y., O., J. I., F., Arduini, A., Casnati, A., Pochini, A., Ungaro, R.. - (1997).
Ultrafine pattern forming method and ultrafine etching method using calixarene derivatives as negative resists
ARDUINI, Arturo;CASNATI, Alessandro;POCHINI, Andrea;UNGARO, Rocco
1997-01-01
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
