Measuring rotation in SEM images of integrated circuits / Chiorboli, Giovanni; G., Demaldè; Morandi, Carlo. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 16:(1992), pp. 397-404. [10.1016/0167-9317(92)90360-4]

Measuring rotation in SEM images of integrated circuits

CHIORBOLI, Giovanni;MORANDI, Carlo
1992-01-01

1992
Measuring rotation in SEM images of integrated circuits / Chiorboli, Giovanni; G., Demaldè; Morandi, Carlo. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 16:(1992), pp. 397-404. [10.1016/0167-9317(92)90360-4]
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