Super-fine pattern formation and super-fine etching method using resist containing calixarene / Y., O., J., F., A., A., Casnati, A., Pochini, A., Ungaro, R.. - (1997).
Super-fine pattern formation and super-fine etching method using resist containing calixarene
CASNATI, Alessandro;POCHINI, Andrea;UNGARO, Rocco
1997-01-01
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.


