Super-fine pattern formation and super-fine etching method using resist containing calixarene / Y., O., J., F., A., A., Casnati, A., Pochini, A., Ungaro, R.. - (1997).

Super-fine pattern formation and super-fine etching method using resist containing calixarene

CASNATI, Alessandro;POCHINI, Andrea;UNGARO, Rocco
1997-01-01

1997
Super-fine pattern formation and super-fine etching method using resist containing calixarene / Y., O., J., F., A., A., Casnati, A., Pochini, A., Ungaro, R.. - (1997).
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