Super-fine pattern formation and super-fine etching method using resist containing calixarene / Y., Onishi; J., Fujita; A., Aldoeni; Casnati, Alessandro; Pochini, Andrea; Ungaro, Rocco. - (1997).

Super-fine pattern formation and super-fine etching method using resist containing calixarene

CASNATI, Alessandro;POCHINI, Andrea;UNGARO, Rocco
1997-01-01

1997
Super-fine pattern formation and super-fine etching method using resist containing calixarene / Y., Onishi; J., Fujita; A., Aldoeni; Casnati, Alessandro; Pochini, Andrea; Ungaro, Rocco. - (1997).
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