Activation Energy in the Early Stage of Electromigration in Al-1%Si/TiNTi Bamboo Lines / I. DE MUNARI; A. SCORZONI; F. TAMARRI; F. FANTINI. - In: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. - ISSN 0268-1242. - 10(1995), pp. 255-259. [10.1088/0268-1242/10/3/004]

Activation Energy in the Early Stage of Electromigration in Al-1%Si/TiNTi Bamboo Lines

DE MUNARI, Ilaria;
1995

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