ASTM Standard Structures for Electromigration Applied to Narrow Al/TiN/Ti Lines: Drawbacks and New Proposal / DE MUNARI, Ilaria; G. L., Baldini; A., Scorzoni; F., Tamarri; M., Vanzi; F., Fantini. - (1993), pp. 335-343. (Intervento presentato al convegno 19th International Symposium for Testing and Failure Analysis (ISTFA) tenutosi a Los Angeles, California, USA nel 15-19 November).
ASTM Standard Structures for Electromigration Applied to Narrow Al/TiN/Ti Lines: Drawbacks and New Proposal
DE MUNARI, Ilaria;
1993-01-01
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