Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication / Nath, A; Parisini, Antonella; Tian, Y. L.; Rao Mulpuri, V; Nipoti, Roberta. - 778-780:(2014), pp. 653-656. (Intervento presentato al convegno ICSCRM2013 tenutosi a Miyazaki, Japan nel 29 Settembre- 4 Ottobre 2013) [10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.653].

Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication

PARISINI, Antonella;NIPOTI , ROBERTA
2014-01-01

2014
Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication / Nath, A; Parisini, Antonella; Tian, Y. L.; Rao Mulpuri, V; Nipoti, Roberta. - 778-780:(2014), pp. 653-656. (Intervento presentato al convegno ICSCRM2013 tenutosi a Miyazaki, Japan nel 29 Settembre- 4 Ottobre 2013) [10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.653].
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